简述电容式压力传感器及表表弹性波形压力传感器。

电容式压力传感器：

利用氧化铝薄膜和底板相互靠近分列形成电容器，利用电容器薄膜高低压差变动的性质，得到与压力成正比的电容器值信号。将电容器衔接到传感器混合集成电路的振动电路上，传感器产生变频信号。输出频率与进气压力成正比，在80.120Hz之间产生变动。

表表弹性波形压力传感器:

用超声波加工薄膜敏感区域的压电基板，雕镂更换器(压敏SAW延长线)，将更换器和电路组合成振动器。

传感器是在研磨过的压电基板上设置两个金属叉，当输入传感器叉在T1上增长电信号时，反压电效应在基板寿命面上引发弹性表表波，传布到传感器文指T2，造成电信号，扩大后反馈T1，维持振动状态。两个互换叉之间的表表弹性波传布功夫是延长功夫，其大幼取决于两个互换叉之间的距离。

由于进气分支管的压力作用于压电基板，压力变动在薄膜敏感区域产生变动，即便互换叉指间距产生变动。因而，表表弹性波传布的延长功夫产生了相应的变动。这样，压力信号能够凭据振动频率与延长功夫成反比输出。

频率压力传感器的信号电压通常为5V或12V。当空气流量产生变动时，电压始终维持不变，输出的脉冲频率也产生变动，因而流量的变动不能凭据丈量电压来确定。

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