现代化的汽车正朝着可能满足人类需要、安全、舒服、方便和无传染的方向发展，只有一种交通工具。

实现这些指标的关键在于汽车的电子化和智能化，前提是实时获取各类信息，这必然要求汽车中大量使用各类传感器。传统传感器体积大，沉量大，成本高，在汽车中的利用受到很大限度。

微型传感器是目前最成功、最实用的微型机电设备，重要蕴含利用微型薄膜的机械变形产生电信号输出的微型压力传感器和微型加快度传感器。此表，还有微型温度传感器、磁场传感器、气体传感器等，这些微型传感器的面积大多幼于1毫米。

陪伴着微电子加工技术，尤其是纳米加工技术的进一步发展，传感器技术也将由微型传感器发展为纳米传感器。这类微型传感器体积幼，能够实现多种全新职能，便于大批量、高精度出产，单件成本低，易于形成大型、多职能的阵列，使其极度适合汽车利用。

1)微加快传感器。

当前，安全气囊是MEMS技术在未来的重要利用。硅加快度计的丈量领域通常为50gn。硅加快度传感器利用较早。

2)表表微型机械陀螺。

传统陀螺仪由高速旋转的转子、内环、表环和底座组成。这种陀螺仪的内表环通常由滚珠轴承支持，通常由机械加工步骤造成。加工精度高，难度大，造成的陀螺仪体积大，质量沉。微机械陀螺仪是一种检测节造电路复杂的MEMS装置。

微型机械陀螺平面表概括的结构参数为1毫米2，厚度仅为2μm。其工作道理是:当在敏感质量块上施加DC偏置电压，在活动叉指和固定叉指之间施加适当的互换激励电压时，敏感质量块会在y轴方向产生固有振动。

3)车辆监控和自诊断传感器。

在车辆监控和自诊断方面，MEMS技术的重要利用之一是轮胎压力监控，其次是冷却、造动等系统的传感器。

另表，在亮度节造系统中使用光传感器的电子驾驶系统中使用磁传感器、气流速度传感器的自动空调系统中使用室内温度传感器、吸气温度传感器、风量传感器、安阳传感器、湿度传感器的方向传感器、速度传感器等。

4)高温微电子在汽车中的利用。

高温微电子在汽车发起机节造、气缸和排气管、电子悬架和造动、动力治理和分配等监控中阐扬着极度沉要的作用。

举例来说于发起机节造的高温微电子传感器和节造器有助于更好地监测和节造点火，使点火越发彻底，提高点火效能。但是，传统硅半导体技术造作的微电子设备不能在高温下工作，不能胜任。为相识决高温环境下的温度丈量问题，必须开发新的资料来取代传统的半导体资料。

基于MEMS技术的微型传感器在降低汽车电子系统成本和提高机能方面拥有优势，起头取代基于传统机电技术的传感器。随着纳米技术的进取，体积幼、成本低、职能强的微型传感器宽泛利用于汽车的各个方面。

未来几年，蕴含发起机运行治理、废气和空气质量节造、造动防抱死系统、车辆动力节造、自适应导航和车辆行驶安整系统的利用将为造作执行系统技术提供辽阔的市场。

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