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压力传感器的道理和利用

起源:http://www.ligentcn.com/news/1122.html颁布功夫:2018-09-20

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传感器是将各类非电量(蕴含物理量、化学量、生物量等)按肯定法规转换成便于处置和传输的另一种物理量 (通常为电量)的装置。传感器通常由敏感元件、转换元件和丈量电路三部门组成,有时还需表加辅助电源。 传感器如以下方框图所示。

方框图:


压力传感器

造作半导体压力传感器的根基道理是利用硅晶体的压阻效应。单晶硅资料在受到应力作用后,其电阻率产生显著变动,这种景象称为压阻效应。

压力传感器所用的元件资料是拥有压阻效应的单晶硅、扩散掺杂硅和多晶硅。凭据晶体不受定向应力时,电导率是同性的,只有受定向应力时才阐发出各向异性,由于应力能引 起能带的变动,能谷能量移动,导致电阻率的变动,因而就有电阻的变动,从而产生压阻效应。单晶硅效应蕴含n型和p型硅压阻效应。选用扩散硅主张在于在设计 造作压力传感器时可凭据分歧温度下硅扩散层的压阻个性选择相宜的扩散前提,力求使压力传感器拥有优良的机能。多晶硅在传感器中有宽泛的用处,可作为微结构和填充资料、敏感资料。

压力传感器

压力传感器按用处罚类重要是压力监督、压力丈量和压力节造及转换成其他量的丈量。按供电方式分为压阻型和压电型传感器,前者是被动供电的,必要有表电源。后者是传感器自身产生电荷,不必要表加电源,凭据分歧领域对压力丈量的精度分歧分为低精度和高精度的压力传感器。

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