硅微压力传感器重要分为两类：电容式和压阻式。该电容式压力传感器蕴含作为可变空气电容器极板的薄膜，该薄膜在压力作用下会产生位移，从而扭转电容值，利用该变动通过相应的电路来获得压力值。压阻传感器是利用硅资料在压力作用下产生电阻变动的道理造作而成，通常由4个硅资料的应变电阻组成惠斯通电桥来丈量压力。

并且硅微压力传感器拥有体积幼、沉量轻、不动件少、靠得住性高、可大规模出产等特点，因而成本也较低。由于传感器拥有靠得住性高、成本低等特点，切合汽车工业的要求，所以硅微压力传感器在汽车工业中的利用极度宽泛。例如自动造动系统的面压、轮胎压力、气囊压力、传动系统的液压、喷射系统的液压、喷射燃油压力、发起机机油压力、进气管路压力等均有硅微型压力传感器可用。

与此同时，在医疗保健领域中，硅微型压力传感器最大的利用产品是血压监测仪。听说，一些大型医疗机械造作企业每年使用约500万个压力传感器。另表，诸如女性难产时用于监测子宫压力的硅微压力传感器、静脉注射用于监测药液流动的传感器等，市场需要也很大。在医疗保健领域，很多其它利用也在不休地开发，因而，这种传感器在医疗保健领域的发展远景也极度可观。

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